HINTERGRUND
Kohlenwasserstoffverbindungen und molekularer Wasserstoff spielen in gegenwärtigen und zukünftigen Technologien eine herausragende Rolle und sind als Energieträger für stationäre und mobile Verbrennung, für die Erzeugung elektrischer Energie in Brennstoffzellen sowie als chemisches Ausgangs- oder Katalysematerial unersetzlich. Wegen ihrer Reaktivität und potenziell schädlichen Wirkung auf den Menschen und die Umwelt ist eine genaue Überwachung notwendig. Bislang verwendete Technologien wie Halbleitersensoren und anspruchsvolle optische Systeme weisen oftmals signifikante Nachteile auf, die eine kostengünstige Massenproduktion mit Standardprozessen der Halbleiterindustrie verhindern oder nicht hinreichend energieeffizient sind.
TECHNOLOGIE
Zur Bestimmung der Funktionstüchtigkeit von Sensoren für die Detektion von Wasserstoff bzw. Kohlenwasserstoff im Laborversuch sowie zur Bestimmung der Sensitivität und Detektionsbandbreite bei Raumtemperatur sollen in diesem Arbeitspaket zwei komplementäre Technologien zum Einsatz kommen:
Als erstes ein widerstandsbasierter Gassensor zur Detektion geringer Variationen der Gaszusammensetzung in reduktiven Umgebungen (H2, CxHy) mit hoher Sensitivität und Selektivität sowie zweitens ein optischer Gassensor für die zuverlässige, langzeitstabile, hochselektive Messung von Gaszusammensetzungen für stückzahlfähige Anwendungen.
VORTEILE
- Integrierbar in CMOS-Technologie
- energieeffizient
- stückzahlfähig
ANWENDUNG
Industrie 4.0 / Surveillance
STATUS
Entwurfsphase – Proof of Concept
FACHKONTAKT
Prof. Dr. rer. nat. habil. Christian Wenger
IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Fachgebiet: Materials Research
Im Technologiepark 25
15236 Frankfurt (Oder)
Deutschland
M: wenger@ihp-microelectronics.com
T: +49 (0)335 5625 129
